拋光機使產品表面更良好同時也要使拋光損傷層不會影響終觀察到的組織，拋光機即不會造成假組織。粗拋目的是去除磨光損傷層，這一階段應具有大的拋光速率，粗拋形成的表層損傷是次要的考慮，不外也應當盡可能小；其次是精拋或稱終拋，其目的是去拋光機除粗拋產生的表層損傷，使拋光損傷減到小。拋光機由底座、拋盤、拋光織物、拋光罩及蓋等基本元件組成。解決這個矛盾的好的辦法就是把拋光分為兩個階段進行。

電念頭固定在底座上，固定拋光盤用的錐套通過螺釘與電念頭軸相連。拋光機操縱的樞紐是要想法得到大的拋光速率，以便盡快除去磨光時產生的損傷層。拋光罩及蓋可防止灰土及其他雜物在機器不使用時落在拋光織物上而影響使用效果。前者要求使用較粗的磨料，以保證有較大的拋光速率來去除磨光的損傷層，但拋光損傷層也較深；后者要求使用細的材料，使拋光損傷層較淺，但拋光速率低。拋光織物通過套圈緊固在拋光盤上，電念頭通過底座上的開關接通電源起動后，便可用手對試樣施加壓力在滾動的拋光盤長進行拋光。拋光過程中加入的拋光液可通過固定在底座上的塑料盤中的排水管流入置于拋光機旁的方盤內